共焦的幾何結構允許使用較小尺寸的靶材,使設備非常適合工藝開發(fā)和研發(fā)生產。
共焦結構可提高膜層的均勻性、工藝多功能性。
具備多種選件以擴展相應能力的應用。
應用于航天、微電子、傳感器、汽車、光學及能源等領域。
