工藝多功能性,具備多種選件以擴(kuò)展相應(yīng)能力, 非常適合研發(fā)和生產(chǎn)。
用于直徑4、5、6及8英寸基片進(jìn)行金屬、氧化物、氮化物工藝。
應(yīng)用于航天、微電子、傳感器、汽車、光學(xué)及能源等領(lǐng)域。
